電子顯微鏡金相顯微鏡的不同之處

　　世界上臺電子顯微鏡在1931年誕生于柏林，它是由M. Knoil和E. Rusk通過(guò)改裝一臺可拆卸的高速陰**線(xiàn)管示波器而制成的，具有3個(gè)透鏡，是采用冷陰極電子源的透射式電子顯微鏡。1934年，M. Knoil和E. Rusk將分辨率提高到500Å。
 

　　掃描電子顯微鏡原理
 

　　掃描電鏡 (Scanning ElectronMicroscope ),簡(jiǎn)寫(xiě)為 SEM,是一個(gè)復雜的系統；濃縮了電子光學(xué)技術(shù)真空技術(shù)、精細機械結構以及現代計算機控制技術(shù)。掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子槍發(fā)射的電子經(jīng)過(guò)多級電磁透鏡匯集成細小的電子束。在試樣表面進(jìn)行掃描,激發(fā)出各種信息，通過(guò)對這些信息的接收、放大和顯示成像，以便對試樣表面進(jìn)行分析。入射電子與試樣相互作用產(chǎn)生如圖 1所示的信息種類(lèi)。這些信息的二維強度分布隨試樣表面的特征而變 (這些特征有表面形貌、成分、晶體取向、電磁特性等) ，是將各種探測器收集到的信息按順序、成比率地轉換成視頻信號，再傳送到同步掃描的顯像管并調制其亮度，就可以得到一個(gè)反應試樣表面狀況的掃描圖。如果將探測器接收到的信號進(jìn)行數字化處理轉變成數字信號，就可以由計算機做進(jìn)一步的處理和存儲。掃描電鏡主要是針對具有高低差較大、粗糙不平的厚塊試樣進(jìn)行觀(guān)察，因而在設計上突出了景深效果，一般用來(lái)分析斷口以及未經(jīng)人工處理的自然表面。
 

　　電子顯微鏡與金相顯微鏡
 

　　一、光源不同：金相顯微鏡采用可見(jiàn)光作為光源，掃描電鏡采用電子束作為光源成像。
 

　　二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像，掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉換成圖像信息。
 

　　三、分辨率不同：金相顯微鏡因為光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因為采用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀(guān)察屬于微米級分析，掃描電鏡的組織觀(guān)測屬于納米級分析。
 

　　四、景深不同：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有*的要求，所以其的制樣過(guò)程相對比較復雜。而掃描電鏡則有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀(guān)察各種試樣凹凸不平表面的細微結構。